氣相沉積爐的核心部件包括：

沉積爐主體：包含加熱室、水冷電極、測(cè)溫?zé)犭娕迹翘幚砉ぜ暮诵牟糠帧?/p>

混氣罐：由電動(dòng)蝶閥、浮子流量計(jì)和不銹鋼手動(dòng)截止閥組成，負(fù)責(zé)氣體的混氣配比和向沉積爐內(nèi)定量輸送工作氣體。

滑閥泵：負(fù)責(zé)爐內(nèi)空氣及工作廢氣的排除，使?fàn)t子工作在恒定的壓力范圍之內(nèi)。

真空電動(dòng)蝶閥：在滑閥泵工作過程中，通過調(diào)節(jié)閥的開度，從而可以調(diào)節(jié)泵的抽速，使?fàn)t子工作在恒定的壓力范圍之內(nèi)。

加熱磁性調(diào)壓器：完成爐溫的控制。

真空反應(yīng)室：氣相沉積爐屬于真空設(shè)備，需要在一定真空環(huán)境下進(jìn)行工作。

抽氣組件：用于維持爐內(nèi)的真空環(huán)境。

控制面板：用于監(jiān)控和控制系統(tǒng)的工作參數(shù)。